至纯科技获得发明专利授权:“一种晶圆检测运输托架及方法”
2026年04月18日 | 浏览量:71756

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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示至纯科技(603690)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆检测运输托架及方法”,专利申请号为CN202211576065.1,授权日为2026年4月17日。
专利摘要:本发明涉及一种晶圆检测运输托架及方法,包括底板、安装在底板上方两侧的U型托齿、安装在底板上方中部的底部托齿;在两侧的U型托齿之间和底部托齿的上方共同形成晶圆夹持空间;晶圆夹持空间的一侧或两侧设有用以检测晶圆的传感器,传感器与晶圆夹持空间内的晶圆一一对应;传感器包括信号发射端和信号接收端,信号发射端和信号接收端分别设置在晶圆夹持空间内的晶圆的两侧,信号发射端朝对应的信号接收端发射信号,信号接收端接收来自对应的信号发射端发射的信号;传感器连接有用以将传感器信号进行处理和传输的通讯模块。通过本发明实现晶圆运输过程中实时检测晶圆的状态,可实现整合半导体湿法设备工艺,减少节拍时间,提高吞吐量。

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今年以来至纯科技新获得专利授权4个,较去年同期减少了60%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了1.18亿元,同比增17.59%。
通过天眼查大数据分析,上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业,参与招投标项目77次;财产线索方面有商标信息105条,专利信息336条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可54个。
数据来源:天眼查APP
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